高端機台都已進入中國,明年7纳米機台更将落地報到

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在中國成长芯片財產的門路上，世人忧心的“人材”問题可以集思廣益解决，“技能”可以通宵达旦尽力研發，惟独“關头装备”议题如同中國芯片財產的软肋，特别是光刻機巨擘 ASML 更是永久处于舆論的风口浪尖上。對此， ASML 中國區总裁沈波重申，今朝最成熟、最先辈的光刻機都已進入中國，彻底不存在高端機台不賣给中國厂商的問题。

沈波出任 ASML 中國區总裁一职以来，初次出席“ 2018 中國集成電路財產成长钻研會暨第二十一届中國集成電路制造年會（ CICD ）”，沈波在會中颁發演讲時，除揭穿 ASML 装备技能将来頭部按摩器,蓝圖成长、中國结構、归并公司的希望等問题外，更首要的是，面临 DT 君提出外界持久以来的疑难，也就是 ASML 是不是遭到某些限定，因此没法贩賣高端装备给中國厂商，沈波也一一答复持久藥,释疑。

ASML 夸大所有商用機台均可以入口中國市場，来岁更會有7纳米落地

沈波點出，收集上不少人會商 ASML 没有把最佳的呆板賣给中國，這并不是究竟，由于，如今 ASML 的极紫外光（EUV）機台将要進入中國，此中， NXT : 1980 是今朝 ASML最成熟的機台，也已進入中國。

沈波更流露， 這邊的客户历来没有拿不到最先辈機台的問题。ASML 新款的 NXT: 2000 機台很快就會在中國市場上看到。而 ASML 的 NXT : 2000 是深紫外光（DUV）機台，大都用于出產高真個 7 纳米和 5 纳米工艺技能，這也表示，中國将進入高端 7 纳米自動關門器，技能的出產之列。

究竟上，中國占 ASML 营業比重愈来愈大，以本年上半年来看，中國市場占其营收约 20 %，估量整年均匀约可到达 15 % 摆布，今朝 ASML 在中國的客户有中芯國際、華虹半导體、长江存储、合肥长鑫、英特尔大連厂、SK海力士西安厂等。

单是本年，就有中芯國際引進首台 EUV 光刻機，另有长江存储武汉厂、華虹团體旗下的華力微電子均引進 ASML 的機台。

但他也點出一個重點，中國晶圆厂是各处着花，但真正实現量產的晶圆厂，會比颁布發表的要少不少。

沈波夸大，芯片的出產制造其实不是有了光刻機，就可以把甚麼問题都解决了，芯片的制造流程很是繁杂，要解决一道道技能困难後，才能顺遂出產。沈波更進一步暗示， ASML 所有商用的光刻機產物，不管是最成熟的、最先辈的光刻機，均可以入口到中國。

包含很多媒體報导對付 ASML 的此外一個疑虑，是多年前英特尔、台积電、三星曾介入“EUV 投資规劃專案”，加快 ASML 的 EUV 機台技能研發，外界担忧，產能十分有限的 EUV 機台會不會被上述的三家厂商包下定单，致使其他的半导體厂無機台可買？

對此，沈波也出格阐明，當初三家半导體大厂投資 EUV 规劃專案，主如果怕 ASML 不做了，財產會呈現技能瓶颈，如今公司的機台產能是每一年逐步提高，定单是依照客户下单的前後次序，并不是這三家公司當初介入投資，就先拿到機台，應當是说這三家公司由于提前做技能筹备，是以比力早用到 EUV 技能。

ASML 持续 16 年稳居光刻機龙头， EUV 機台垄断是關头缘由

ASML 今朝的三大產物線為 EUV 、 DUV 和 application products。傍邊， DUV 是出貨量最大的產物，而 EUV 是最具前瞻性的產物，從 2018 年～ 2020 年的發展性可以瞥見大幅往上，今朝公司也踊跃扩充產能，從年產能 20 台，来岁晋升至 30 台，後年再晋升至 40 台。此外，在 application products 部門，主如果 20 纳米如下制程市場，像是 14 纳米、 7 纳米，该產物線發展率很是高。

按照美國调研機構的資料显示， 2017 年全世界半导體光刻装备厂中， ASML 仍以 85 % 的市占率稳居龙头，其次是日本厂商尼康（ Nikon ) 的 10.3 %，和佳能 ( Canon )  的 4.3 %，這已是 ASML 持续 16 年稳居市場第一，而 ASML 以几近垄断的职位地方存在于光刻機范畴，重要就是由于它是全世界独一能供给 EUV 機台的半导體装备厂。

沈波指出，本年投入 16 亿欧元在研發上面，占营收比重约 15 % ，且本年是公司 EUV 機台上很是首要的一年，客户要把 EUV 技能导入量產，今朝 EUV 機台每小時產出片数达 125 片，在实行室中可达 140 片，且光源 250 瓦的不乱性很高，来岁客户采纳 EUV 的范围會再扩展。

ASML 扩展结構中國市場，在上海建立培训中間

ASML 進入中國市場已 18 年了，日前也延续扩展结構中國市場，今朝有 13 個辦公室，两個研發中間别离在北京和深圳，近期在上海也建立培训中間，估量 ASML在中國员工约 1000 人。

别的， ASML 前几年并購的汉微科，主力為電子束技能，在北京有快要 60 人的研發团队。這两年两家公司一向在做整合，包含技能和產物的整合，和本来公司强項的光刻機連系起来，供给客户完备的光刻解决方案，本年也會有新產物，包含光學量测機台、多重電子束機台，朝為客户供给全方位解决方案迈進。

沈波暗示，中國半导體市場处于史無前例的汗青阶段，然碰到的阻碍也不少，行業更必要精诚互助，大師構成火伴瓜葛，而不但只是供给商瓜葛，相互更是火伴瓜葛。
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他也察看到，逻辑客户的技能成长是走在最前端，芯片越做越小，继 FinFET 架構技能後，三牙齒美白, 星也提出 GAA 架構技能，而在存储技能這块， 3D NAND 是不错的标的目的，芯片更加立體化後，将来要软硬技能連系优化產物。

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