關于EUV機台的性能分析和應用介绍

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三星成心一口吻買下10台单價為1.76亿美元的EUV。三星如果然的如许做，那就會晋升其在7nm等先辈工艺上的领先上风。這一方面是因為EUV装备是将来集成電路成长的關头，另外一方面则在于三星如果然能買下10台，那末台积電、Intel和格芯等厂商则會見临几近将来一年内無EUV装备可買的危害。

由于按照EUV装备独一供给商——荷兰ASML的動静显示，他們每一年大要能出產12台EUV装备。斟酌到三星以前已快敌手一步購入了一些EUV装备，使得韩媒做出了如许的猜想。但三星的规劃真的得逞吗？

巨擘們的EUV结構，日本藤素哪裡買,将来输赢的關头

在摩尔定律的引导下，履历数十年成长的集成電路起头面對瓶颈：工艺制程進入10nm以後，過往的可見光光刻技能彷佛不克不及應答如斯小的沟通，是以業界将眼光投向了EUV（极紫外光）光刻。

操纵這类波长為13.4nm的光源打造的EUV光刻装备可以或许在晶圆上刻上先辈工艺所需的電路。因而包含台积電、三星、Intel和格芯在内的几大先辈晶圆代工場都将眼光投向了這個装备，并说出了他們在EUV光刻機上的结構和计劃：

起首在台积電方面，固然台积電他們流露已在7nm研發上利用了7nm工艺，并实現了EUV扫描機、光罩和印刷的集成。但按照台积電联席CEO 刘德银在2016年的某集會上的演讲流露，台积電方面認為EUV光刻工艺直到2020年才能有用量產。依照台积電的線路圖，也就就是说，台积電會在5nm上采纳EUV工艺代替如今的傳统光刻。已到达在新工艺上提高密度，简化工艺并低落本錢的目标。

来到三星這邊彷佛则更加激進。在以前的報导中咱們看到，三星规劃在7nm制程中采纳EUV光刻。在ASML與本年7月的半导體装备站上颁布發表冲破了250瓦EUV光源的瓶颈後（光源功率(source power)──也就是傳送到扫描機以实現晶圆暴光的EUV光子(photon)数目之量测值──直接同等于出產力，芯片制造商一向以来都對峙250瓦的光源功率是告竣每小時125片晶圆(WPH)出產量的需要前提，即production-ready。），三星颁布發表将會在2018年推出利用EUV等先辈制造技能的7nm新工艺。

来到Intel方面，作為制造巨擘，英特尔在先辈制程方面的引進至關禁止。在早前的制程大會上，在問到EUV的结構上面，英特尔方面暗示，從他們方面看来，EUV光刻的產能和配套辦事，今朝還不克不及合适量產需求，是以他們會連结對新装备的存眷，在合适的時辰會举行颁布。

来到格芯方面，在本年六月份，格芯颁布了他們的7nm進度，按照他們的Roadmap，他們将會在2018年進入7nm，可是這時辰用的是DUV技能，按照他們的结構，會在2019年引入EUV技能。

三星真能垄断EUV光刻機？

BusinessKorea的報导显示，ASML從2000年起头就投入了EUV光刻的钻研。在研發初期，三星和Intel就對ASML供给了极大的支撑。

在2012年8月，三星颁布發表参加了ASML的客户结合投資规劃。按照协定劃定，三星许诺在将来五年内（從2012年算起），向ASML的次期間微影技能投入2.76亿欧元，占全部項目13.8亿欧元筹款方针的15%。與此同時三星向ASML投資了5.03亿欧元，获得ASML约3%股权。

但到了2016年，三星颁布發表出售價值约6.06亿欧元的ASML股权，這占了那時ASML总體股权的1.45%。也就是说三星手上的ASML股权约莫剩下1.55%。

英特尔方面也参加了三星的客户结合投資规劃，按照那時的報导，Intel介入ASML的规劃分為两期，第一期方针為Intel投資5.53亿欧元（6.8亿美元）协助ASML開辟18英寸晶圆制造东西，同時Intel将以17亿欧元（21亿美元）的價格收購ASML公司约莫10%的盘前買賣已刊行股票。

第二期消脂茶，方针還要等ASML股东核准，它包含分外的2.76亿欧元（3.4亿美元）的有關EUV技能的R&D研發資金，和價值8.38亿欧元（10亿美元）的5%盘後買賣已刊行股票。届時Intel将持有ASML 15%股分，全部產权買賣價值约為25亿欧元（31亿美元）。

作為协定的一部門，Intel必要提早采辦ASML的450妹妹晶圆及EUV開辟、出產东西。

台积電方面也同時介入。那時動静显示，台积電将以8.38亿欧元采辦ASML的5%股权，并赞成鄙人一代光刻技能如超紫外技能和450毫米光刻装备的研發上向ASML投資2.76亿欧元。不外台积電在2015年全数处置了ASML 股权，治療汗皰疹,赢利6.95 亿美元。

至于格芯方面，從公然信息查找，彷佛他們并無介入這個规劃。

若是光從股权上看，则是Intel、三星、台积電三者依照從先到後，若是這些股分占据董事會的决议计劃权的话，那末Intel在ASML中的话事权彷佛更大，三星想一會儿包辦所有的EUV装备，是不是會得到来自Intel等的阻止，這未能尽知。

這些基于股权话事的说法是来自作者的猜想，不外依照常理，Intel和三星等投入到ASML的规劃和股分中，除鞭策EUV的希望，配合受益外，在将来竞購中处于领先职位地方，應當也是他們前仆後继投入的一個首要缘由。

固然，至于暗藏在後面的详细细则，作者未能得悉，但愿有知情者流露。

咱們無妨從EUV以前的采辦状态来阐發一下。

按照ASML的公然信息显示， 2016年第四時度賣掉了6台EUV光刻機，而按照阐發師流露，傍邊的五台都是賣给了台积電。

三星方面無疑是最大買主，据有關動静流露，他們已購入了跨越十台的EUV装备，并将其装設于韩國華都會的18号出產線（Line 18）全力抢占晶圆代工邦畿。

至于英特尔方面，和他們的EUV计劃同样，没有動静流露他們買了几多台装备，但在2015年，有動静泄漏有美商一口吻買了好几台EUV光刻機。有人就猜想那是Intel。

至于格芯方面的详细结構仍然是没有動静源可寻。

正如開首所说，ASML本年的EUV產能是12台，全数贩賣一空，但他們在来岁會将產能晋升到24台。但按照ASML在7月公布的陈述显示，他們挤压的EUV定单已到达了21台。斟酌到如今晶圆厂的竞争环境，将来的竞争必定會加重的。

综上所述，三星眼科,想一口吻買下所有的EUV光刻機，或许只是一個斗胆的假想。不外斟酌三星以前斥巨資垄断了OLED出產關头装备供给商CanonTokki多年的產能，可以看出三星再次做出這类事也有很大可能。經由過程内存疯长挣得盘满钵满的韩國巨擘如今真堪称是財大气粗，何况對ASML来讲，Business is business，和谁不是做買賣呢？